薄型2、3通電磁閥 SX90/090
?小型
全長：約38mm(2通閥)、54mm(3通閥)
閥寬、高：10mm
質量：10g(2通閥)、20g(3通閥)
?大流量
C［dm3/（s·bar）］：0.25(2通閥)、0.5(3通閥)
流量［L/min（ANR）］：45(2通閥)、90(3通閥) (0.2MPa時)
| 系列 | 閥構造 | C［dm3/（s·bar）］ | 流量［L/min（ANR）］ 0.2MPa時 | 切換方式 |
|---|---|---|---|---|
| SX91 | 2通直動式座閥 | 0.25 | 45 | 常斷 |
| SX92 | 2通直動式座閥 | 0.12 | 22 | 通用 |
| SX090 | 3通直動式座閥 | 0.5 | 90 | 通用 |
常閉型高真空電磁閥 XSA
?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
?有2種接頭和內螺紋可選。
?消耗功率：最多削減25％。
?質量：最多減小18％ 0.5kg→0.41kg。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
干燥空氣用先導式2通電磁閥 VQ
?高頻率動作。
高速響應7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。
?內置快換管接頭，便于配管。
?DIN連接 可對應防塵、防噴流型（IP65）。
?用于工件的吹氣、吹掃。
?集裝底座型號：VV2Q22，VV2Q32。
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VQ20 | N.C. | φ6～φ12 | 3.4 |
| VQ30 | N.C. | φ6～φ12 | 4.8 |
高速2通閥 SX10
?高速響應：ON時 0.45ms、OFF時 0.4ms(±0.05ms)。
?長壽命 50億次以上。
?高頻率 1200Hz。
?薄型 9mm。
?低功耗 4W。
| 系列 | 流量 | 消耗功率 (W) | 最高動作頻率 (Hz) |
|---|---|---|---|
| SX10 | 50 | 80 40 10 4 | 1200 1000 550 350 |
| SX10 | 100 | 80 40 10 4 | 650 550 300 200 |
| SX10 | 150 | 80 40 10 4 | 600 500 250 150 |
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ
?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
?全部產品均經過了氦氣泄漏檢測。
?符合SEMI規格
?采用方便作業的鍛造主體
| 系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | 手動型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
夾管閥 LPV22-X1
?為了讓流體不接觸閥的可動部，使用一次性的無污染物流入的管子，無需洗凈工藝且更加衛生
?小型，閥寬：20mm
?消耗功率：1.5W(內置節電回路)
?管子的耐久性提高
夾管部為圓弧形，降低對管子的損傷
?管子易于更換（拆裝）
| 系列 | 切換方式 | 閥形式 | 適合管子 |
|---|---|---|---|
| LPV | 直動型點磁閥 | N.O. | 硅樹脂 外徑?4、內徑?2 外徑?5/32'、內徑?1/32' |
脈沖吹氣閥 AXTS040□-□□-X2
?利用脈沖吹氣所形成的峰值壓力實現高效吹氣
?耗氣量減少50%以上
?無需任何控制，即可產生脈沖!
| 系列 | 閥構造 | 切換方式 | 頻率調節幅度 |
|---|---|---|---|
| AXTS040□-2□-X2 | 金屬密封 | 內部先導規格 | 1?5Hz |
| AXTS040□-3□-X2 | 金屬密封 | 外部先導規格 | 1?8Hz |
水、空氣用小型輕量2通電磁閥 VDW-XF
?采用體積小、重量輕的樹脂主體（PPS）。
?IP65。
?消耗功率：3W（標準）、0.5W（帶節電回路）。
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VDW30/40-XF | N.C. | 快鎖P7，P8 φ4，φ6，φ8，φ10 | 1～6 |
水、空氣用小型直動2/3通電磁閥 VDW
※VDW10/20系列于2012年12月停產。
請選擇NewVDW10/20系列。
※VDW30系列于2015年7月停產。
請選擇VX21系列。
※3通閥VDW200/300仍在銷售
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑 (mmφ) |
|---|---|---|---|
| VDW10/20/30 | N.C. | M5～1/4 (8A) | 1～4 |
| VDW200/300 | C.O. | M5～1/4（8A） | 1～4 |
小型化學液用直動2?3通電磁閥 LVM
?低發塵、禁油、無金屬 ※接觸液體部分
?分離構造
膜片將使用流體區域與點磁頭驅動部分隔離開
?消耗功率：1.0W以下（帶節電回路）
?容積變化量（抽取量）：0.01μL以下
| 系列 | 閥構造 | 閥形式 | 使用壓力范圍 | 孔口徑（mm） |
|---|---|---|---|---|
| LVM07 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. | -75kPa?0.1MPa | 0.8 |
| LVM09 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.2MPa | 1(直接配管) 1.1(底座配管) |
| LVM10 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.25MPa | 1.4 |
| LVM15 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.25MPa (最大0.6MPa) | 1.6 1(高壓型) |
| LVM20 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. N.O. 通用 | -75kPa?0.3MPa (直接配管型為0.25MPa) | 2 |
| LVM1□ 直接配管型 底座配管型 | 直動搖臂型 | N.C. | 0?0.25MPa | 1.5 |
小型直動2通電磁閥 VDW
?用于空氣、中真空、水。
?主體材質：Al、樹脂（PPS）、C37、SUS。
?有帶快換管接頭（樹脂主體）的型號。
?IP65。
| 系列 | 閥形式 | 接管口徑 | 孔口徑 |
|---|---|---|---|
| VDW10/20 | N.C. | φ3.2，φ4，φ6，M5，1/8 | φ1～φ3.2 |
直動型2、3通隔離式電磁閥 LVMK20/200
?低發塵、禁油、無金屬。
?使用流體：空氣、水、脫離子水(純水)、稀釋液、洗凈液。
?分離構造
隔離密封墊將使用流體區域與電磁驅動部隔離。
?簡單配管。
?防止液體積留。
?不需要調節流量。
| 系列 | 閥形式 | 配管方向 | 接觸液體部分材質 |
|---|---|---|---|
| LVMK | N.C. 萬向型 | 下方配管 橫向配管 | 主體：PPS 密封件：EPDM, FKM |
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